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双腔ALD原子沉积系统

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  双腔ALD原子沉积系统

  2024 - 10 - 23

  原子层沉积技术（ALD）是一种一层一层原子级生长的薄膜制备技术。理想的 ALD 生长过程，通过选择性交替，把不同的前驱体暴露于基片的表面，在表面化学吸附并反应形成沉积薄膜。

  查看详情