单晶炉智能拉晶系统

单晶炉智能拉晶系统

单晶炉自控行业前三某系统供应商设计的智能一键拉晶系统，基于中科时代算控一体的SP7020系列工智机开发的高智能视觉检测算法，是为硅单晶硅生长炉打造的新一代智能长晶系统，可实现一键拉晶功能，通过AI模型、深度学习算法等。对单晶硅生产过程的图像进行识别检测，并结合单晶炉控制系统根据工艺场景进行特殊的工艺算法，对长晶过程重点难点的关键技术环节实现自动判断及处理，较传统系统具备更智能化、自动化、高效性、高精度、高稳定性、高安全防护等优点。

单晶炉智能拉晶系统控制系统难点：

• 控制工艺复杂
• 测、控联动速率要求高
• 视觉检测算法复杂

系统架构图：

中科时代方案特点：

1、算控一体

• 一台SP7020系列工智机替代原上位工控机+PLC，减少硬件设备，降低成本约30%。
• 上位软件与软PLC间通过共享内存或中科时代ACP™通信协议进行数据通讯，有效提升了数据交互速度。
• 采用虚拟化技术，Windows蓝屏或重启不影响实时任务的运行。

2、易用开放

• 上位软件与实时侧通过共享内存进行数据通讯，有效提升了数据交互速度。
• 直径偏差从±0.7%提升至±0.5%，部分批次可以达到±0.3%，极大提升产品质量